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J-GLOBAL ID：200903005133069078
櫛歯型アクチュエータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (3)：
大胡 典夫
, 竹花 喜久男
, 宇治 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004017488
Publication number (International publication number)：2005205578
Application date： Jan. 26, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：
【課題】可動電極と固定電極同士の接触を防止する櫛歯型アクチュエータを得る。【解決手段】開口部22を形成した基板21と、開口部にそって設けられ、櫛歯状に並列された複数の固定電極指32からなる固定電極と、開口部に架設され、櫛歯状に並列された複数の可動電極指44を前記固定電極指間に間隔をあけて入組み配設し固定電極との間の電圧または磁界印加により固定電極指32と可動電極指44との間に発生する吸引力により可動可能とされた可動電極40と、基板上に可動電極を挟むように設けられ可動電極を支持する固定部41bと、可動電極と固定部に一体に接続され可動電極を可動可能に吊架するサスペンション支持体42bとからなるアクチュエータであって、サスペンション支持体42bは、可動電極の厚み方向を長手方向とする軸芯部421と、この軸芯部から軸芯部と交差する方向に伸びる張り出し部422とからなる横断面の幅が一定でない構造を有する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
開口部を形成した基板と、
前記基板上に前記開口部にそって設けられ、固定電極基部とこの固定電極基部の辺に所定の長さにわたって櫛歯状に並列された複数の固定電極指からなる固定電極指群とを有する固定電極と、
前記基板の前記開口部に架設され、可動電極基部とこの可動電極基部の辺に所定の長さにわたって櫛歯状に並列された複数の可動電極指からなる可動電極指群とを有してこの可動電極指を前記固定電極指間に間隔をあけて入組み配設し前記固定電極との間の電圧または磁界印加により前記固定電極指と前記可動電極指との間に発生する吸引力により可動可能とされた可動電極と、
前記基板上に前記可動電極を挟むように設けられ前記可動電極を支持する固定部と、
前記可動電極と前記固定部に一体に接続され前記可動電極を可動可能に吊架するサスペンション支持体であって、横断面の幅が一定でないサスペンション支持体と
を具備することを特徴とする櫛歯型アクチュエータ。
IPC (3)：
B81B3/00
, G02B26/08
, H02N13/00
B81B3/00
, G02B26/08 E
, H02N13/00 Z
2H041AA12
, 2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
