Pat
J-GLOBAL ID：200903005153662298
2つの対象物間の相対的位置ずれ検出方法及び装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004192252
Publication number (International publication number)：2006013400
Application date： Jun. 29, 2004
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：
【課題】2つの対象物間のより高精度な位置ずれ量の検出が可能となる相対的位置ずれ検出方法及び装置を提供する。【解決手段】2つの対象物間の相対的位置ずれを検出する相対的位置ずれ検出方法であって、第1の対象物101と第2の対象物102とを、これら対象物間に設けられた厚さが光源の波長よりも小さい誘電体層105を介し、該第1の対象物と該第2の対象物のそれぞれに形成された前記光源の波長よりも大きい格子ピッチpを有する回折格子103,104を、それらが対向するようにして配置し、前記光源から前記それぞれの回折格子に光106を入射させ、これらの回折格子から空間に出射される回折光107,108を検出して、前記第1の対象物と前記第2の対象物との相対位置ずれを検出するように構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
2つの対象物間の相対的位置ずれを検出する相対的位置ずれ検出方法であって、
第1の対象物と第2の対象物とを、これら対象物間に設けられた厚さが光源の波長よりも小さい誘電体層を介し、該第1の対象物と該第2の対象物のそれぞれに形成された前記光源の波長よりも大きい格子ピッチを有する回折格子を、それらが対向するようにして配置し、
前記光源から前記それぞれの回折格子に光を入射させ、これらの回折格子から空間に出射される回折光を検出して、前記第1の対象物と前記第2の対象物との相対位置ずれを検出することを特徴とする相対位置ずれ検出方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (6)：
5F046BA10
, 5F046CB17
, 5F046EB01
, 5F046EB02
, 5F046FA10
, 5F046FB06
Cited by applicant (2)
-
米国特許6334960号明細書
-
露光方法及び露光装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-322231
Applicant：キヤノン株式会社
Cited by examiner (2)
Return to Previous Page
