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J-GLOBAL ID:200903005254346451

金属酸化物薄膜の作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 丹羽 宏之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000106427
Publication number (International publication number):2001294408
Application date: Apr. 07, 2000
Publication date: Oct. 23, 2001
Summary:
【要約】【課題】 曇り度の低い透明な金属酸化物薄膜を簡単に効率良く得られるようにする。【解決手段】 液相析出法による金属酸化物薄膜の作製に際して、まず基板を洗浄し(S1)、その表面に酸化アルミニウムの分散液を塗布し(S2)、80〜300°Cで乾燥させる(S3)。そして、その酸化アルミニウム被膜の上に金属酸化物の被膜を形成する(S4)。
Claim (excerpt):
液相析出法による金属酸化物薄膜の作製方法であって、予め基材の表面に酸化アルミニウム被膜を設けておき、その酸化アルミニウム被膜の上に金属酸化物膜を形成するようにしたことを特徴とする金属酸化物薄膜の作製方法。
IPC (5):
C01B 13/14 ,  C01B 33/12 ,  C01G 23/053 ,  C01G 49/02 ,  G02B 1/10
FI (5):
C01B 13/14 Z ,  C01B 33/12 C ,  C01G 23/053 ,  C01G 49/02 Z ,  G02B 1/10 Z
F-Term (26):
2K009BB02 ,  2K009BB24 ,  2K009CC03 ,  2K009DD02 ,  2K009EE02 ,  2K009EE05 ,  4G002AA02 ,  4G002AB02 ,  4G002AD00 ,  4G002AE05 ,  4G042DA01 ,  4G042DB04 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DE04 ,  4G042DE14 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G072AA25 ,  4G072BB09 ,  4G072FF07 ,  4G072GG03 ,  4G072NN21 ,  4G072UU02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 防曇性材料
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-059745   Applicant:ホーヤ株式会社
  • 被膜構成体及びその製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-348275   Applicant:松下電工株式会社
  • 酸化チタン被膜の製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-315345   Applicant:松下電工株式会社
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