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J-GLOBAL ID:200903005255515508
放射線検出器及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (2):
樺澤 襄
, 樺澤 聡
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007194590
Publication number (International publication number):2009031098
Application date: Jul. 26, 2007
Publication date: Feb. 12, 2009
Summary:
【課題】高解像度、高輝度のX線検出器11を提供する。【解決手段】アレイ基板12上にX線を蛍光に変換するシンチレータ層13を形成し、シンチレータ層13上にシンチレータ層13の蛍光を反射させる反射膜14を形成する。反射膜は、蛍光を反射させる光散乱性粒子及びこの光散乱性粒子間を結合するバインダ材を含有し、光散乱性粒子の周辺部にバインダ材が充填されていない空乏部を形成する。光散乱性粒子と空乏部との界面での屈折角が大きくなり、シンチレータ層13により変換された蛍光の反射が小領域内で生じ、反射光の遠方拡散による解像度低下や輝度の低下を抑える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
光電変換素子と、
この光電変換素子上に形成され、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、
このシンチレータ層上に形成され、このシンチレータ層からの蛍光を反射させる光散乱性粒子及びこの光散乱性粒子間を結合するバインダ材を含有し、かつ光散乱性粒子の周辺部にバインダ材が充填されていない空乏部が形成されている反射膜と
を具備していることを特徴とする放射線検出器。
IPC (3):
G01T 1/20
, H01L 27/14
, H01L 31/09
FI (6):
G01T1/20 D
, G01T1/20 G
, H01L27/14 D
, H01L27/14 K
, H01L31/00 A
, G01T1/20 B
F-Term (27):
2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088GG16
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ37
, 4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118BA10
, 4M118CA32
, 4M118CB06
, 4M118CB07
, 4M118CB11
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB16
, 4M118GA10
, 4M118GD15
, 5F088BB03
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088EA06
, 5F088HA09
, 5F088HA15
, 5F088HA20
, 5F088LA08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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X線検出器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-100898
Applicant:株式会社東芝, 東芝電子管デバイス株式会社
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X線検出器のための反射器材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-204651
Applicant:シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
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放射線検出装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-233415
Applicant:キヤノン株式会社
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Cited by examiner (4)