Pat
J-GLOBAL ID:200903005306900711

走査型レーザ顕微鏡、及びその制御方法、並びにプログラム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大菅 義之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003349618
Publication number (International publication number):2005115072
Application date: Oct. 08, 2003
Publication date: Apr. 28, 2005
Summary:
【課題】 走査型レーザ顕微鏡の構成を複雑にすることなく色収差の補正を行えるようにする。【解決手段】 対物レンズ系6は、レーザ光源1から発せられたレーザ光である照明光を焦点位置に集束させる。制御部11は、記憶部14に登録されている対物レンズ系6の色収差の程度を示している色収差情報に基づいてXYスキャナ4若しくはZスキャナ8を制御し、対物レンズ系6を通過した照明光を当該照明光の波長の変化に拘らず試料7内の同一の位置に集束させる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
レーザ光である照明光を焦点位置に集束させる対物レンズ系と、 前記対物レンズ系の色収差の程度を示している色収差情報に基づいて、当該対物レンズ系を通過した前記照明光を当該照明光の波長の変化に拘らず試料内の同一の位置に集束させる制御を行う制御手段と、 を有することを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (2):
G02B21/00 ,  G02B26/10
FI (4):
G02B21/00 ,  G02B26/10 B ,  G02B26/10 C ,  G02B26/10 104Z
F-Term (11):
2H045AB13 ,  2H045AB53 ,  2H045BA13 ,  2H045BA24 ,  2H045DA31 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD20
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)
  • 位置検出装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-056324   Applicant:株式会社ニコン
  • レーザ走査顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-298933   Applicant:オリンパス光学工業株式会社

Return to Previous Page