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J-GLOBAL ID：200903005363504725

コーティング方法およびコーティング装置

Inventor： 鈴木 泰雄 ,  緒方 潔
Applicant, Patent owner： 株式会社イオン工学研究所 ,  日新電機株式会社
Agent (1)： 福島 祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996179024
Publication number (International publication number)：1998025564
Application date： Jul. 09, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 中空体の内面に密着性および緻密性の高い良質のコーティング膜を均一に形成することができ、大面積コーティングが可能でかつアーク短絡時に短絡電流の高速遮断が可能なコーティング方法およびコーティング装置を提供することである。【解決手段】 被コーティング体となるパイプ100を円筒状保持部材2a,2b間に保持し、パイプ100内の中心部に所望の材料からなる棒状のコーティング材3を配置するとともに、コーティング材3の周囲に半円筒状の接地導体4を配置する。円筒状保持部材2a,2bの開口端部に蓋部材2c,2dを取り付けて反応室2を形成する。反応室2内を排気系16により排気した後、ガス導入系17から反応ガスを導入する。アーク電源12によりコーティング材3に電圧を印加するとともにバイアス電源13によりパイプ100に負のバイアス電圧を印加し、コーティング材3を中心として接地導体4を回転させる。

Claim (excerpt)：

中空体の内面にコーティング膜を形成するコーティング方法において、前記中空体の内部にコーティング材料からなる棒状部材を配設するとともに前記中空体の内部に前記棒状部材を部分的に囲むように前記棒状部材と同軸構造の導電性部材を配設し、前記中空体の内部空間を囲む反応室を形成し、前記反応室内を排気し、前記中空体を前記導電性部材に対して電気的にバイアスするとともに前記棒状部材と前記導電性部材との間にアーク放電を発生させることを特徴とするコーティング方法。

IPC (4)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  F16L 58/04

FI (4)：

C23C 14/24 F ,  C23C 14/06 A ,  C23C 14/08 E ,  F16L 58/04