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J-GLOBAL ID：200903005650178430

触媒担持基板およびそれを用いたカーボンナノチューブの成長方法ならびにカーボンナノチューブを用いたトランジスタ

Inventor：
本郷 廣生

About 本郷 廣生


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 速水 進治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002226020
Publication number (International publication number)：2004067413
Application date： Aug. 02, 2002
Publication date： Mar. 04, 2004
Summary：
【課題】基板との密着性、パターニング特性に優れた単層カーボンナノチューブを高い収率で得る技術を提供する。【解決手段】ベーマイトを表面に有する触媒担体膜104上に、触媒担体膜104の一部を覆う触媒膜150を設け、この触媒膜150を起点として単層構造のカーボンナノチューブ105を気相成長させる。【選択図】 図17
Claim (excerpt)：
カーボンナノチューブの気相成長に用いられる触媒担持基板であって、 (a)カーボンナノチューブ気相成長触媒を含む第一の領域と、 (b)周期表2族〜14族から選択される一種以上の元素を含む金属またはその化合物(但し第一の領域においてカーボンナノチューブ気相成長触媒として選択した物質を除く)を含む第二の領域と、 が表出する主面を有することを特徴とする触媒担持基板。
IPC (3)：
C01B31/02 ,  C23C14/14 ,  C23C16/06
FI (3)：
C01B31/02 101F ,  C23C14/14 Z ,  C23C16/06
F-Term (42)：
4G146AA11 ,  4G146AA12 ,  4G146AD21 ,  4G146BA01 ,  4G146BA48 ,  4G146BC08 ,  4G146BC09 ,  4G146DA03 ,  4G146DA48 ,  4K029AA24 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA06 ,  4K029BA07 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA13 ,  4K029BA15 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA18 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA05 ,  4K030BA06 ,  4K030BA07 ,  4K030BA10 ,  4K030BA12 ,  4K030BA14 ,  4K030BA16 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA20 ,  4K030BA21 ,  4K030BA22 ,  4K030CA12 ,  4K030LA11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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