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J-GLOBAL ID：200903005686716268

走査型近視野光学顕微鏡

Inventor：
冨田 英介

About 冨田 英介


Applicant, Patent owner：
セイコー電子工業株式会社

About セイコー電子工業株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996056585
Publication number (International publication number)：1997243649
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 波長以下の高分解能を有し,局所的な励起発光測定が可能な近視野光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 レーザー光源2とレンズ3とプリズム4を用いて試料5表面にエバネッセント光101を発生させる。光導波プローブ1を試料に接近させ,エバネッセント光101を散乱させ,レンズ7と光検出器8で検出する。Zサ-ボ回路9とZ軸微動素子10を用いてプローブの距離制御を行う。XY走査回路11とXY微動素子12を用いて2次元走査し,データ処理手段13により3次元画像化を行う。
Claim (excerpt)：
先端に直径が波長以下の微小開口部を有する光導波プローブと,レーザー光源とレンズとプリズムとからなるエバネッセント光発生手段と,前記光導波プローブを試料表面に接近させる粗動機構と,レンズと光検出器とからなるエバネッセント光検出手段と,Z軸微動素子とZサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と,XY微動素子とXY走査回路とからなる2次元走査手段と,測定信号の3次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型近視野光学顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 11/30
FI (2)：
G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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