フッ素化合物含有ガスの処理方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997004349
Publication number (International publication number)：1998192653
Application date： Jan. 14, 1997
Publication date： Jul. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】C2F6などのフッ素化合物含有ガスを効率良く分解する分解処理方法及び触媒を提供する。【解決手段】C2F6のように炭素を2つ以上含み、かつフッ素原子を含む化合物、もしくは窒素原子とフッ素原子を含む化合物の少なくとも一方を含むガス流を、アルミナ,チタニア,シリカ,ジルコニアの少なくとも一種を含む触媒と、約400〜約800°Cの温度で、有効量の水蒸気の存在下で接触させて、前記ガス流中のFをHFに転化する。【効果】フッ素化合物含有ガスを効率良く分解処理することができる。

Claim (excerpt)：

炭素を2つ以上含み、かつフッ素原子を含む化合物、もしくは窒素原子とフッ素原子を含む化合物の少なくとも一方を含むガス流を、アルミナ,チタニア,シリカ,ジルコニアの少なくとも一種を含む触媒と約400〜800°Cの温度で、有効量の水蒸気の存在下で接触させて、前記ガス流中のFをHFに転化する工程を含んでなることを特徴とするフッ素化合物含有ガスの処理方法。

IPC (5)：

B01D 53/86 ZAB , A62D 3/00 ZAB , B01J 21/04 , B01J 21/06 , B01J 21/08

FI (5)：

B01D 53/36 ZAB G , A62D 3/00 ZAB , B01J 21/04 A , B01J 21/06 A , B01J 21/08 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特開平3-249920
有機ハロゲン化合物を含む排ガスの処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-280299 Applicant：東ソー株式会社
弗素化合物ガスの分解処理用触媒
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-225532 Applicant：九州大学長

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