紫外線レーザ用結像光学系

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997064489
Publication number (International publication number)：1998260349
Application date： Mar. 18, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】高純度な合成石英ガラスやフッ化カルシウム結晶を用いて光学系を製作しても、スループットの高い結像光学系を組み上げることが容易ではなかった。【解決手段】石英ガラスからなる光学部材とフッ化カルシウム結晶からなる光学部材とから構成された紫外線レーザ用結像光学系において、石英ガラスおよびフッ化カルシウム結晶中のいずれのナトリウム濃度も0.1ppm以下に設定する。

Claim (excerpt)：

石英ガラスからなる光学部材及びフッ化カルシウム結晶からなる光学部材とから構成された紫外線レーザ用結像光学系において、石英ガラスおよびフッ化カルシウム結晶のそれぞれの部材中のナトリウム濃度を0.1ppm以下に設定したことを特徴とする紫外線レーザ用結像光学系。

IPC (6)：

G02B 13/14 , C03C 3/06 , C30B 29/12 , H01L 21/027 , H01S 3/225 , G03F 7/20 502

FI (6)：

G02B 13/14 , C03C 3/06 , C30B 29/12 , G03F 7/20 502 , H01L 21/30 515 D , H01S 3/223 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

反射屈折縮小投影光学系及び露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-012502 Applicant：株式会社ニコン
特開昭63-121810
特開昭61-154128

Show all

Return to Previous Page