フッ化カルシウム結晶、その製造方法及びこれを用いた投影露光装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996153769
Publication number (International publication number)：1998001310
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ArFエキシマレーザーを光源とした光学系に用いることが可能な、耐ArFエキシマレーザー性に優れたフッ化カルシウム結晶が得られなかった。【解決手段】ブリッジマン法において、温度条件、引き下げ速度等を精密に制御することによりフッ化カルシウム結晶中に含有するナトリウム量を0.2ppm以下に抑える。

Claim (excerpt)：

エキシマレーザーを光源とした光学系に用いられるフッ化カルシウム結晶において、該結晶中に含有されるナトリウム量が0.2ppm以下であり、エネルギー密度100mJ/(cm2 Pulse) のArFエキシマレーザーを104 パルス以上照射したときの193nmの透過率低下が厚さ1cmあたり5%以下であるフッ化カルシウム結晶。

IPC (3)：

C01F 11/22 , C30B 11/00 , C30B 29/12

FI (3)：

C01F 11/22 , C30B 11/00 Z , C30B 29/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

フッ化物結晶及びフッ化物結晶レンズの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-030184 Applicant：キヤノン株式会社
蛍石とそれを用いた光学物品及びフォトリソグラフィー用の露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-068016 Applicant：キヤノン株式会社
耐紫外線性の優れた紫外線光学用蛍石及び蛍石の透過率検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-069381 Applicant：株式会社ニコン, 応用光研工業株式会社

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フッ化カルシウム結晶、その製造方法 及びこれを用いた投影露光装置

フッ化カルシウム結晶、その製造方法及びこれを用いた投影露光装置