電子ビーム描画装置用試料ステージ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996063357
Publication number (International publication number)：1997260468
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】平面寸法及び板厚が異なる各種サイズのマスクブランクを、直接、保持することが可能な電子ビーム描画装置用試料ステージを提供すること。【解決手段】本発明の電子ビーム描画装置用試料ステージは、ステージ基板1と、マスクブランク20をその周縁部で保持する三個のクランプ片3a〜cと、スライド台5a、bと、支持板6とから構成される。各クランプ片は、ステージ基板1に対向する基準面を有する基準片31と、基準片31を支持する基部32と、基部32に係合する支持ピン33とから構成される。クランプ片3a、3bはスライド台5aに支持されてマスクブランク20の一辺に沿って配置され、クランプ片3cはスライド台5bに支持されてマスクブランク20の対辺に沿って配置され、共に、ステージ基板1と平行方向に移動可能である。支持板6は、スライド台5a、5bの下側に配置され、各支持ピンを垂直方向に駆動する。

Claim (excerpt)：

電子ビーム描画装置においてその上にマスクブランクが装着される試料ステージであって、ステージ基板と、ステージ基板に対向する基準面を有する基準片、この基準片を支持する基部、及びこの基部に上下移動自在に係合され、マスクブランクの周縁部を裏面から支持してマスクブランクの表面を基準面に対して押圧する支持ピンを備え、マスクブランクの一辺に沿って配置された第一及び第二のクランプ片と、ステージ基板に対向する基準面を有する基準片、この基準片を支持する基部、及びこの基部に上下移動自在に係合され、マスクブランクの周縁部を裏面から支持してマスクブランクの表面を基準片に対して押圧する支持ピンを備え、マスクブランクの前記一辺の対辺に沿って配置された第三のクランプ片と、前記各クランプ片を、前記一辺及び前記対辺に対して直交する方向に、ステージ基板に対して平行に移動させる第一の駆動手段と、前記支持ピンを、上下方向に移動させる第二の駆動手段と、を備えたことを特徴とする電子ビーム描画装置用試料ステージ。

IPC (5)：

H01L 21/68 , B25J 15/08 , G03F 7/20 504 , G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (5)：

H01L 21/68 N , B25J 15/08 Z , G03F 7/20 504 , G03F 9/00 H , H01L 21/30 541 L

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

基板処理システムの基板搬送方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-129882 Applicant：旭硝子株式会社
基板の保持装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-295239 Applicant：株式会社東芝
特開昭64-080036

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