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J-GLOBAL ID：200903006219982350

検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法

Inventor：
米澤 良

About 米澤 良

, 
大原 忍

About 大原 忍

, 
松本 正規

About 松本 正規


Applicant, Patent owner：
レーザーテック株式会社

About レーザーテック株式会社


Agent (1)： 家入 健
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005135827
Publication number (International publication number)：2006313107
Application date： May. 09, 2005
Publication date： Nov. 16, 2006
Summary：
【課題】 正確に検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること【解決手段】 本発明にかかる検査装置は、光源1からの光ビームを反射する回転反射面を有し、出射ビームの伝播軸線を時間とともに回転させて光ビームを走査するポリゴンミラー5と、球面凹面鏡8と補正レンズ9を有し、ポリゴンミラー5から出射された出射ビームを光軸に平行で、光軸からの距離が時間と共に変化する光ビームとするコリメータ光学系7と、光ビームの走査方向に沿って設けられ、試料10で散乱した散乱光を集光するシリンドリカルレンズ21と、シリンドリカルレンズ21から出射された散乱光が入射するよう配置されたバンドルファイバ23と、バンドルファイバ23から出射した散乱光を検出するPMT24とを備えるものである。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
光ビームを出射する光源と、 前記光源からの光ビームを反射する回転反射面を有し、出射ビームの伝播軸線を時間とともに回転させて前記光ビームを走査するポリゴンミラーと、 球面凹面鏡と収差補正レンズを有し、前記ポリゴンミラーから出射された出射ビームを光軸に平行で、当該光軸からの距離が時間と共に変化する光ビームとして、試料に出射するコリメータ光学系と、 前記光ビームの前記走査方向に沿って設けられ、前記試料で散乱した散乱光を集光するシリンドリカルレンズと、 前記シリンドリカルレンズから出射された散乱光が入射するよう配置されたバンドルファイバと、 前記バンドルファイバから出射した散乱光を検出する検出器とを備える検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (2)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 Z
F-Term (27)：
2F065AA00 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL03 ,  2F065LL08 ,  2F065LL09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB11 ,  2G051BC06 ,  2G051CA02 ,  2G051CB05 ,  2G051CC17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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