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J-GLOBAL ID:200903006431425541
シリカ系被膜形成用塗布液、その製造法及びシリカ系被膜
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
若林 邦彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997183754
Publication number (International publication number):1999029743
Application date: Jul. 09, 1997
Publication date: Feb. 02, 1999
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 保存安定性、厚膜成膜性に優れ、耐クラック性に優れる被膜を形成することができるシリカ系被膜形成用塗布液、シリカ系被膜形成用塗布液の製造法及び耐クラック性に優れ成膜性の良好なシリカ系被膜を提供する。【解決手段】 (A)一般式(I)(式中Rは、炭素数1〜4のアルキル基、nは0〜2の整数を意味し、複数個のRは同一でも異なっていてもよい)で表されるアルコキシシラン化合物を加水分解、重縮合させて得られるシロキサンポリマー並びにアンモニア、アルキルアミン、ジアルキルアミン、トリアルキルアミン及びアリールアミンからなる群から選ばれる少なくとも一種の塩基性化合物を含有してなるシリカ系被膜形成用塗布液、及びシリカ系被膜形成用塗布液の製造法並びに前記シリカ系被膜形成用塗布液を用いて形成されてなるシリカ系被膜。
Claim (excerpt):
(A)一般式(I)【化1】(式中Rは、炭素数1〜4のアルキル基、nは0〜2の整数を意味し、複数個のRは同一でも異なっていてもよい)で表されるアルコキシシラン化合物を加水分解、重縮合させて得られるシロキサンポリマー並びにアンモニア、アルキルアミン、ジアルキルアミン、トリアルキルアミン及びアリールアミンからなる群から選ばれる少なくとも一種の塩基性化合物を含有してなるシリカ系被膜形成用塗布液。
IPC (3):
C09D183/06
, C08G 77/08
, C08G 77/18
FI (3):
C09D183/06
, C08G 77/08
, C08G 77/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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特開平3-115379
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特開平3-083877
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被膜形成用塗布液およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-060057
Applicant:触媒化成工業株式会社
-
半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-118584
Applicant:触媒化成工業株式会社
-
塗装物品およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-246306
Applicant:松下電工株式会社
-
特開平1-163277
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