結晶粒径測定方法及び装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：河野登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998024910
Publication number (International publication number)：1999153419
Application date： Feb. 05, 1998
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】スパングル及びその他の結晶粒との濃淡差が小さい場合においても、正確な結晶粒径の測定が可能な結晶粒径測定方法及び装置を提供する。【解決手段】光源2から被測定面11へ照射される光を被測定面11内に存在するスパングルのみにて反射させ、その反射方向に撮像器3を設けて撮像し、撮像結果からスパングルの粒径を画像処理装置4を用いて算出することでスパングルの粒径を測定する構成とする。

Claim (excerpt)：

撮像器を用いて被測定物の表面を撮像し、撮像結果から被測定面に析出する所定種類の結晶粒の粒径を画像処理手段を用いて算出することで前記結晶粒の粒径を測定する結晶粒径測定方法において、光源から前記被測定面へ照射される光を前記所定種類の結晶粒の表面にて反射させ、その反射方向に前記撮像器を設けて撮像することを特徴とする結晶粒径測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/08 , G01N 21/17 , G01N 33/20

FI (3)：

G01B 11/08 H , G01N 21/17 A , G01N 33/20 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

スパングルサイズ測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-231926 Applicant：日本鋼管株式会社
外観検査装置の感度補正方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-088758 Applicant：松下電工株式会社
特開昭59-099304

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