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J-GLOBAL ID：200903006735775387

レーザ加工方法および装置

Inventor： 三澤 弘明 ,  サウリウス ヨードカシス ,  松尾 繁樹 ,  坪井 泰之
Applicant, Patent owner： 株式会社レーザーシステム
Agent (1)： 鷲田 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004108301
Publication number (International publication number)：2005293736
Application date： Mar. 31, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：

【課題】 レーザ光により、加工対象物に精密マーキング行うこと。 【解決手段】 レーザ光源101により発生するパルスレーザを、光学系を介して、ステージ113上の加工対象物に照射する。照射領域をアモルファス化させることにより屈折率変化領域を形成して書き込みを行い、パルスレーザをアモルファス化した領域に照射して当初の原子・分子配列状態に復帰させて消去を行う。また、所定ピッチ以下でレーザ照射することによりマイクロチャネルを形成できる。 【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

パルスレーザを発生する工程と、 前記パルスレーザを加工対象物に照射して前記加工対象物の当初の原子・分子配列状態をアモルファス状態へと相転移させる工程と、 前記パルスレーザを前記アモルファス状態の領域に照射して前記アモルファス状態を前記当初の原子・分子配列状態へと相転移させる工程と、 を具備することを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (1)：

G11B7/0045

FI (1)：

G11B7/0045 Z

F-Term (2)：

5D090AA10 ,  5D090CC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 三次元光メモリーガラス素子及びその記録方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-023614   Applicant：セントラル硝子株式会社

Cited by examiner (4)

• 光記録媒体の記録方法および情報が記録された光記録媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-120480   Applicant：松下電器産業株式会社
• レーザ加工装置及びレーザ加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-278665   Applicant：浜松ホトニクス株式会社
• 光デイスクへの記録方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-310485   Applicant：松下電器産業株式会社
• 固体材料の屈折率を変化させる方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-043073   Applicant：セントラル硝子株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• フェムト秒レーザの現状と加工応用