薄膜圧電共振器

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003338065
Publication number (International publication number)：2005109702
Application date： Sep. 29, 2003
Publication date： Apr. 21, 2005
Summary：

【課題】凸型キャビティ構造に特有の共振特性劣化を回避することを可能にする。【解決手段】平坦な表面をもつ基板2と、基板表面と略平行に空洞12を介して対向する平坦部8aと、平坦部を支持する如く基板表面まで下降し基板表面並びに平坦部とともに実質的に空洞を形成する傾斜部8bとを有する圧電体膜8と、平坦部の空洞側表面に設けられた下部電極6と、平坦部の空洞側表面とは反対側の略平行な表面に設けられ、下部電極と平坦部を介して向かい合う上部電極10とを備え、圧電体膜の下部電極および上部電極が向かい合う領域は平坦部内に制限されており、向かい合う領域の端が平坦部および傾斜部間の境から1μm以上離れていることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

平坦な表面をもつ基板と、前記基板表面と略平行に空洞を介して対向する平坦部と、前記平坦部を支持する如く前記基板表面まで下降し前記基板表面並びに前記平坦部とともに実質的に前記空洞を形成する傾斜部とを有する圧電体膜と、前記平坦部の前記空洞側表面に設けられた下部電極と、前記平坦部の前記空洞側表面とは反対側の略平行な表面に設けられ、前記下部電極と前記平坦部を介して向かい合う上部電極とを備え、前記圧電体膜の前記下部電極および前記上部電極が向かい合う領域は前記平坦部内に制限されており、前記向かい合う領域の端は前記平坦部および前記傾斜部間の境から1μm以上離れていることを特徴とする薄膜圧電共振器。

IPC (4)：

H03H9/17 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187

FI (4)：

H03H9/17 F , H01L41/18 101Z , H01L41/18 101C , H01L41/08 J

F-Term (6)：

5J108AA00 , 5J108AA01 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108KK07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

音響共振器とその製作方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-154956 Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
米国特許第606,0818号明細書
圧電共振子、フィルタ及び電子機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-283724 Applicant：株式会社村田製作所

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Cited by examiner (7)

特開昭63-187714
圧電共振子、フィルタ及び電子機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-283724 Applicant：株式会社村田製作所
特開昭62-200813

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