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J-GLOBAL ID：200903007651851130
音響共振器とその製作方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999154956
Publication number (International publication number)：2000069594
Application date： Jun. 02, 1999
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：
【要約】【課題】圧電素子材料の層が二つの金属電極の間に挟み込まれ、圧電素子材料の周囲を支持することにより中心部が空中に吊されている構造を有する電子回路用フィルタ用の共振器の製造において、従来方法では、歩留まりが悪いあるいはエッチング時間が長い等の問題がある。本願発明では改良された製造方法を開示する。【解決手段】窪みを有する基板上にエッチングし易い犠牲層を堆積する。その表面を研磨し、その上に一方の電極、圧電素子および他の電極を順に堆積する。次に犠牲層に穴を開けて犠牲層を除去する。これにより、従来の問題を解決する製造方法を実現する。
Claim (excerpt)：
(a)高さのRMS変動が2μm未満である導電シートを備えた第1の電極と、(b)導電シートを備えた第2の電極と、(c)前記第1および第2の電極の間に挟み込まれた圧電材料の層とを、有することを特徴とする音響共振器。
IPC (5)：
H04R 17/10
, G10K 9/122
, H03H 3/08
, H03H 9/17
, H03H 9/25
H04R 17/10
, H03H 3/08
, H03H 9/17 F
, H03H 9/25 Z
, G10K 9/12 101 C
