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J-GLOBAL ID：200903007133270981

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法

Inventor：
谷津 克也

About 谷津 克也


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002137691
Publication number (International publication number)：2003330180
Application date： May. 13, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】透明性、耐熱性、現像性、平坦性に優れた被膜が形成できる上に、塗布性、保存安定性がよい感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】(a)不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸無水物とエポキシ基含有重合性不飽和化合物の共重合体、(b)不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸無水物とそれ以外のモノオレフィン系不飽和化合物の共重合体、(c)キノンジアジド基含有化合物及び(d)有機溶媒を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法。
Claim (excerpt)：
(a)不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸無水物とエポキシ基含有重合性不飽和化合物の共重合体、(b)不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸無水物とそれ以外のモノオレフィン系不飽和化合物の共重合体、(c)キノンジアジド基含有化合物及び(d)有機溶媒を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F 7/023 ,  C08F 20/32 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/023 ,  C08F 20/32 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (42)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA18 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J100AB07P ,  4J100AE18P ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK31Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL10Q ,  4J100AM21P ,  4J100AM21Q ,  4J100AQ01P ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA14P ,  4J100BA15P ,  4J100BA21P ,  4J100BA38P ,  4J100BC03P ,  4J100BC54P ,  4J100BC59P ,  4J100CA04 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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