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J-GLOBAL ID：200903007239082548
M×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995512529
Publication number (International publication number)：1997504387
Application date： Oct. 25, 1994
Publication date： Apr. 28, 1997
Summary：
【要約】本発明は、光投射システムで用いられるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイに関するものであって、このアレイは能動マトリックス(52)と、各々が少なくとも、電気的に変形可能な物質からなる薄膜層(64)、この電気的に変形可能な薄膜層(64)の上面及び下面に各々位置する一対の電極(69,70)、上面及び下面を有し、各薄膜駆動構造体(54)を片持構造で支持すると共に、各薄膜駆動構造体(54)と能動マトリックスとを電気的に接続するM×N個の支持部材のアレイ(56)、及び各薄膜駆動構造体の上面に設けられており、入射する光ビームを反射させるM×N個のミラーのアレイ(51)を備えるM×N個の薄駆動構造体とを含む。電気信号が、各駆動構造体の一対の電極の間に設けられた電気的に変形可能な物質からなる薄膜層に供給される場合、この薄膜層は変形することによって、その上に設けられたミラーも変形することになる。
Claim (excerpt)：
光投射システムに用いられるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ(M及びNは正の整数)であって、 基板、M×N個のトランジスタのアレイ、及びM×N個の接続端子のアレイを有する能動マトリックスと、 上面及び下面、近位の部分及び遠位の部分を有しており、各々が少なくとも、上面及び下面を有し電気的に変形可能な物質から成る薄膜層と、各々が特定の厚さで前記薄膜層の前記上面に位置する第1電極と、前記下面に位置する第2電極とを含み、電気信号が前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた前記薄膜層の両端に印加される場合、前記薄膜層と共に変形されるM×N個の薄膜駆動構造体のアレイと、 上面及び下面を有し、前記薄膜駆動構造体の各々を支持すると共に、前記薄膜駆動構造体と前記能動マトリックとを電気的に接続するM×N個の支持部材のアレイと、 前記各薄膜駆動構造体の上面に設けられ、前記各薄膜駆動構造体の変形に応じて、各々が変形して入射した光ビームを反射するM×N個のミラーのアレイとを含むことを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (3)：
G02B 26/08
, H01L 41/09
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, H04N 5/74 B
, H01L 41/08 M
