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J-GLOBAL ID:200903007522851558

表示装置およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 芝野 正雅
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000368253
Publication number (International publication number):2001318622
Application date: Dec. 04, 2000
Publication date: Nov. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 表示電極形成後も水分およびガスが液晶層および配向膜に浸入するのを防止することが可能で、かつ、表示電極の構成材料の分解を抑制することが可能な表示装置を得ること。【解決手段】 表示電極4の形成後に、表示電極4の表面上に、フッ化インジウム(InFX)を主成分とする第1層34およびフッ化炭素(CFX)を主成分とする第2層35が形成されている。また、表示電極4の形成後に、表示電極4により覆われていない絶縁膜31の表面に、フッ素終端層33が形成されている。こうすることで、表示電極4の形成後も、絶縁膜31および表示電極4の水分およびガスに対する透過防止効果が向上され、その結果、表示電極4の形成後も、基板側から液晶層3または配向膜36aに水分およびガスが放出されるのを防止することができる。
Claim (excerpt):
基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された表示電極と、前記表示電極の表面および前記絶縁膜の表面上に形成され、電気陰性度の大きな不純物元素を含む不純物導入層とを備えたことを特徴とした表示装置。
IPC (5):
G09F 9/30 330 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/316
FI (5):
G09F 9/30 330 Z ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/316 P ,  G02F 1/136 500
F-Term (33):
2H090HB03X ,  2H090HB15X ,  2H092GA29 ,  2H092HA19 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JB61 ,  2H092KA04 ,  2H092KB25 ,  2H092MA08 ,  2H092NA04 ,  2H092NA17 ,  2H092NA25 ,  5C094AA31 ,  5C094AA38 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094FB15 ,  5F058BA07 ,  5F058BB07 ,  5F058BD01 ,  5F058BD06 ,  5F058BD13 ,  5F058BD16 ,  5F058BD18 ,  5F058BH16
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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