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J-GLOBAL ID:200903007626941800

光重合性組成物、ネガ型感光性レジスト組成物及びレジストパターン形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998236680
Publication number (International publication number):2000063451
Application date: Aug. 24, 1998
Publication date: Feb. 29, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光重合性組成物、ネガ型感光性レジスト組成物及びレジストパターン形成方法を提供する。【解決手段】 下記した構成単位【化5】(式中、Aはポリイソシアネート化合物に由来する残基、Bは同一もしくは異なってそれぞれの分子末端に1個以上の光重合性不飽和基を有するヒドロキシ化合物に由来する残基及びR1はカルボキシル基含有ポリオール化合物に由来する残基を示す。nは1〜10整数を示す。)を有する光重合性ポリウレタン化合物を含有することを特徴とする光重合性組成物。
Claim (excerpt):
下記した構成単位【化1】(式中、Aはポリイソシアネート化合物に由来する残基、Bは同一もしくは異なってそれぞれの分子末端に2個以上の光重合性不飽和基を有するヒドロキシ化合物に由来する残基及びR1はカルボキシル基含有ポリオール化合物に由来する残基を示す。nは1〜10整数を示す。)を有する光重合性ポリウレタン化合物を含有することを特徴とする光重合性組成物。
IPC (4):
C08F290/06 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/40 521
FI (4):
C08F290/06 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/40 521
F-Term (89):
2H025AA06 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC66 ,  2H025FA17 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096EA04 ,  2H096GA09 ,  4J011AC04 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA18 ,  4J011QA19 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QB16 ,  4J011QB20 ,  4J011QB23 ,  4J011RA03 ,  4J011RA07 ,  4J011RA10 ,  4J011SA02 ,  4J011SA06 ,  4J011SA07 ,  4J011SA22 ,  4J011SA32 ,  4J011SA33 ,  4J011SA52 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA74 ,  4J011SA76 ,  4J011SA78 ,  4J011SA79 ,  4J011SA88 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011UA03 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J011WA02 ,  4J011WA06 ,  4J027AC03 ,  4J027AC06 ,  4J027AE01 ,  4J027AG01 ,  4J027AG04 ,  4J027AG12 ,  4J027AG13 ,  4J027AG14 ,  4J027AG15 ,  4J027AG23 ,  4J027AG24 ,  4J027AG27 ,  4J027AG32 ,  4J027AG34 ,  4J027AJ02 ,  4J027BA01 ,  4J027BA03 ,  4J027BA06 ,  4J027BA10 ,  4J027BA18 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA21 ,  4J027BA26 ,  4J027BA27 ,  4J027CA03 ,  4J027CA04 ,  4J027CA06 ,  4J027CA08 ,  4J027CA10 ,  4J027CA25 ,  4J027CB10 ,  4J027CC04 ,  4J027CC05 ,  4J027CC06 ,  4J027CC07 ,  4J027CD08 ,  4J027CD09 ,  4J027CD10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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