音叉型角速度センサ素子の駆動方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003143174
Publication number (International publication number)：2004347398
Application date： May. 21, 2003
Publication date： Dec. 09, 2004
Summary：

【目的】音叉の加工誤差に起因する不要信号の影響を受けにくい、生産性の高い角速度センサ素子の駆動方法を提供する。【構成】少なくとも一方の音叉腕の4面に電極を設けて両主面から両側面に交流電圧を印加して音叉振動を駆動し、コリオリの力によって生ずる電荷を少なくとも他方の音叉腕の両側面に設けたセンサ電極によって検出する音叉型角速度センサ素子の駆動方法において、前記音叉腕の両主面から両側面に印加する交流電圧の大きさを異ならせて駆動する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくとも一方の音叉腕の4面に電極を設けて両主面から両側面に交流電圧を印加して音叉振動を駆動し、コリオリの力によって生ずる電荷を少なくとも他方の音叉腕の両側面に設けたセンサ電極によって検出する音叉型角速度センサ素子の駆動方法において、前記音叉腕の両主面から両側面に印加する交流電圧の大きさを異ならせたことを特徴とする音叉型角速度センサ素子の駆動方法。

IPC (2)：

G01C19/56 , G01P9/04

FI (2)：

G01C19/56 , G01P9/04

F-Term (7)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB03 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-044214 Applicant：トヨタ自動車株式会社
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-066341 Applicant：松下電器産業株式会社
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-238501 Applicant：トヨタ自動車株式会社

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Cited by examiner (2)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-044214 Applicant：トヨタ自動車株式会社
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-066341 Applicant：松下電器産業株式会社

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