微細パターンを有するメッキ用型、微細金属構造体、微細加工用型、微細パターンを有するメッキ用型の製造方法、および微細金属構造体の製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003059999
Publication number (International publication number)：2004084059
Application date： Mar. 06, 2003
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】融点が高く、かつ機械強度も高い材質よりなる微細金属構造体を提供し、その微細金属構造体を製造することが可能な、微細パターンを有するメッキ用型およびその製造方法を提供し、その微細金属構造体よりなる微細加工用型およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の微細パターンを有するメッキ用型110は、μmオーダ以下の寸法の微細パターンを有し、かつ250°C以上の耐熱を有する材質よりなっている。このメッキ用型110を用いて溶融塩電鋳を行うことにより、機械強度の良好な微細金属構造体が製造される。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

μmオーダ以下の寸法の微細パターンを有し、かつ250°C以上の耐熱を有する材質よりなる、微細パターンを有するメッキ用型。

IPC (3)：

C25D1/10 , C25D3/66 , H01L21/288

FI (3)：

C25D1/10 311 , C25D3/66 , H01L21/288 E

F-Term (4)：

4M104BB05 , 4M104BB13 , 4M104BB18 , 4M104DD52

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

電鋳による薄板状複製型製造方法及び同装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-114101 Applicant：株式会社リコー
微細パターン形成用の原版
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-322106 Applicant：大日本印刷株式会社
特開昭62-156288

Show all

Return to Previous Page