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J-GLOBAL ID：200903008112816930

感光性ペースト

Inventor：
草野 一孝

About 草野 一孝

, 
堀内 健

About 堀内 健

, 
岩永 慶二

About 岩永 慶二


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998110407
Publication number (International publication number)：1999306964
Application date： Apr. 21, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を低コストで可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該感光性有機成分が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤を含むことを特徴とする感光性ペースト。【化1】ただし、上記の一般式(I)において、R1、R4は、それぞれ独立にハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜13のアルキル基又はアルキルオキシ基、フェニル基、ベンジル基、モルホリノ基、R5S-、(R6)2N-、SO2R7-、HOR8O-(R5、R6、R7、R9はアルキル基を表す)から選ばれた基であり、R2、R3は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、フェニル基、ベンジル基、アルキル基、アルキルオキシ基から選ばれる。
Claim (excerpt)：
無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該感光性有機成分が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤を含むことを特徴とする感光性ペースト。【化1】ただし、上記の一般式(I)において、R1、R4は、それぞれ独立にハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜13のアルキル基又はアルキルオキシ基、フェニル基、ベンジル基、モルホリノ基、R5S-、(R6)2N-、SO2R7-、HOR8O-(R5、R6、R7、R9はアルキル基を表す)から選ばれた基であり、R2、R3は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、フェニル基、ベンジル基、アルキル基、アルキルオキシ基から選ばれる。
IPC (5)：
H01J 9/02 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031
FI (5)：
H01J 9/02 F ,  C08F 2/44 A ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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