走査形電子顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996275837
Publication number (International publication number)：1997171791
Application date： Oct. 18, 1996
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は低加速電圧領域で空間分解能の高い走査像を得ることの出来る走査形電子顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】対物レンズ8の電子ビーム通路に加速円筒9を配置し、一次電子ビームの後段加速電圧10を印加する。また、試料12に重畳電圧13を印加して加速円筒9と試料12の間に一次電子ビームに対する減速電界を形成する。試料12から発生された二次電子や反射電子等の二次信号23は、試料直前の電界(減速電界)で加速円筒9内に吸引され、加速円筒9より上方に配置された二次電子検出器により検出される。

Claim (excerpt)：

電子源と、電子源から発生した一次電子ビームを試料上に走査する走査偏向器と、前記一次電子ビームを収束する対物レンズと、一次電子ビームの照射により試料から発生する二次信号を検出する二次信号検出器とを含み、試料の二次元走査像を得る走査形電子顕微鏡において、前記対物レンズの電子ビーム通路に配置された加速円筒に一次電子ビームの後段加速電圧を印加する手段と試料に負電位を印加する手段とを備え、前記加速円筒と試料の間に一次電子ビームに対する減速電界を形成し、前記二次信号検出器を前記加速円筒より前記電子源側の位置に配置したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (6)：

H01J 37/04 , H01J 37/141 , H01J 37/145 , H01J 37/147 , H01J 37/22 502 , H01J 37/244

FI (6)：

H01J 37/04 Z , H01J 37/141 A , H01J 37/145 , H01J 37/147 B , H01J 37/22 502 A , H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-163940 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-306205 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-149944

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