圧電アクチュエータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996141754
Publication number (International publication number)：1997322566
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、駆動したとき、その積層圧電素子の発生する歪みまたは応力を検出し、例えば駆動ストロークの終端に達したことを確実に把握できる圧電アクチュエータを提供することにある。【解決手段】本発明の圧電アクチュエータ33は、複数の圧電体層を積層した積層圧電素子38と、この積層圧電素子38の一部に設けられ前記積層圧電素子38の発生する歪みまたは応力を検出するフィードバック電極38cとを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

複数の圧電体層を積層した積層圧電素子と、この積層圧電素子の一部に設けられ前記積層圧電素子の発生する歪みまたは応力を検出する検出手段と、を具備したことを特徴とする圧電アクチュエータ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

超音波リニアモータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-014522 Applicant：アルプス電気株式会社
振動波モータの駆動制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-337243 Applicant：キヤノン株式会社
特開昭63-056179

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