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J-GLOBAL ID：200903008610644143
マグネシウム・パラジウム合金薄膜を用いた水素センサ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
須藤 政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005255529
Publication number (International publication number)：2007071547
Application date： Sep. 02, 2005
Publication date： Mar. 22, 2007
Summary：
【課題】マグネシウム・パラジウム合金薄膜を用いた水素センサ材料、水素センサ部材及び水素の検知方法を提供する。【解決手段】基材の上にマグネシウム・パラジウム合金薄膜を有する水素センサ材料であって、マグネシウム・パラジウム合金薄膜の厚さが10〜200nmであること、マグネシウム・パラジウム合金の組成が、MgPdx(0.05≦x≦0.3)であること、基材の上、又は上記合金薄膜の上に触媒層が形成されていること、室温付近(0-60°C付近)で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する特性を有すること、を特徴とする水素センサ材料、該材料をセンサ素子として含む水素センサ部材、及び該水素センサ部材を用いた水素の検知方法。【効果】室温で作動し、安価に製造できる新規Mg-Pd合金系薄膜材料を用いた高感度、高耐久性、高リカバリー性で、高性能の新規水素センサ部材及び水素の検知方法を提供できる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
基材の上にマグネシウム・パラジウム合金薄膜を有する水素センサ材料であって、(1)マグネシウム・パラジウム合金薄膜の厚さが10〜200nmである、(2)マグネシウム・パラジウム合金の組成が、MgPdx(0.05≦x≦0.3)である、(3)基材の上、又は上記合金薄膜の上に触媒層が形成されている、(4)室温付近(0-60°C付近)で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する特性を有する、ことを特徴とする水素センサ材料。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N27/12 C
, G01N27/12 B
, G01N21/75 Z
2G046AA05
, 2G046BA01
, 2G046BA04
, 2G046BA06
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BD03
, 2G046BF01
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046EA09
, 2G046EA10
, 2G046FB00
, 2G046FC01
, 2G046FE20
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G054AA01
, 2G054CA04
, 2G054EA04
, 2G054EA05
, 2G054FA32
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (8)
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