Pat
J-GLOBAL ID:200903008709302260

多孔体膜並びに薄膜の作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003057524
Publication number (International publication number):2004261779
Application date: Mar. 04, 2003
Publication date: Sep. 24, 2004
Summary:
【課題】ナノチャンネル体が表面に対してほぼ垂直方向となるような多孔体膜並びに薄膜の作製方法を提供する。【解決手段】直径約10nm〜数μmのマクロ細孔が表面から底面にかけて貫通するように形成されてなる酸化物層にカチオン系界面活性剤を接触させることで、界面活性剤ミセルを内包しているナノチャンネル体を有する薄膜を作製し、また上記カチオン系界面活性剤を接触させた酸化物層をさらに焼成することにより、シリカナノ細孔体を有する薄膜を作製する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板を酸化させて生成した酸化物層からなる多孔体膜において、 界面活性剤ミセルを内包しているナノチャンネル体が上記酸化物層の表面から底面にかけて貫通するように形成されてなること を特徴とする多孔体膜。
IPC (1):
B01D71/02
FI (1):
B01D71/02
F-Term (24):
4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006MA03 ,  4D006MA22 ,  4D006MA27 ,  4D006MB09 ,  4D006MC03X ,  4D006NA39 ,  4D006NA50 ,  4D006NA62 ,  4D006PA02 ,  4D006PC69 ,  4G072AA28 ,  4G072BB09 ,  4G072BB15 ,  4G072CC20 ,  4G072FF06 ,  4G072HH30 ,  4G072KK01 ,  4G072KK15 ,  4G072LL11 ,  4G072MM36 ,  4G072UU15 ,  4G072UU30
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page