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J-GLOBAL ID：200903008837462777

走査熱顕微鏡検査による局部熱分析及び表層画像形成を行うための方法及び装置

Inventor： ハミシェ,アゼデン ,  リーディング,マイケル ,  ソン,モ ,  ポロック,ヒューバート マーレイ モンタギュ
Applicant, Patent owner： ティーエー インストゥルメンツ,インコーポレイティド
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997537893
Publication number (International publication number)：1999509003
Application date： Apr. 22, 1997
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】数μm3で評価される物質の体積内でのガラス転移、融解、再結晶および熱分解のような現象を熱的に誘発し、検知することによって、高度に局在化した熱源および検出器として作用する活性素子として白金/ロジウム抵抗熱プローブを使用して局在示差熱量測定を行う。さらに、深さプロフィル測定および表画像形成を行うために、前記プローブを使用して熱伝導性および拡散性の変化を画像形成する。画像形成される試料の最大深さは、極めてわずかな温度波を試料に発生させることにより調節される。

Claim (excerpt)：

局部熱分析試験を行う方法であって、 (a) 試料をステージの上に置く工程; (b) 前記試料の表面上の特定位置を、一定成分および振動成分を有する温度プログラムに従って発生させた温度に暴露する工程;及び (c) 前記特定位置における前記試料の熱的性質を示す物理的パラメーターを測定する工程;並びに (d) 前記測定工程(c)の結果を記録する工程;を含む方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 空間分解式変調示差分析の方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-124269   Applicant：ティーエイ・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
• 変調示差分析の方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-336319   Applicant：ティーエイ・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
• 特開平2-287246