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J-GLOBAL ID：200903009112272871
カンチレバーおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996329878
Publication number (International publication number)：1998170528
Application date： Dec. 10, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：
【要約】【課題】 自由端に設けられた探針の表面のみに機能性被膜が形成されたカンチレバーおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 カンチレバー10の探針形成面にフォトレジスト30をスピンコートする[図2(a) ]。次いで、フォトレジスト30をドライエッチングし、カンチレバー10の探針形成面10aを露出させることなく探針1の少なくとも先端部およびその近傍のみを露出させる[同図(b) ]。次いで、露出した探針1およびフォトレジストを覆うように機能性被膜50を形成する[同図(c) ]。次いで、選択性の高い湿式エッチングにより、フォトレジスト30をその表面に形成された機能性被膜50と共に除去する[同図(d) ]。
Claim (excerpt)：
試料表面に近接されて走査される探針を自由端に有し、探針表面に形成された機能性被膜と試料表面との間に発生する力によって梁部が撓むカンチレバーにおいて、 前記機能性被膜は探針の表面のみに選択的に形成されたことを特徴とするカンチレバー。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
