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J-GLOBAL ID：200903080650889737

試料表面の観察方法、原子間力顕微鏡、微細加工方法および微細加工装置

Inventor：
矢野 亨治

About 矢野 亨治

, 
教學 正文

About 教學 正文


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994185745
Publication number (International publication number)：1996050872
Application date： Aug. 08, 1994
Publication date： Feb. 20, 1996
Summary：
【要約】【目的】 試料表面とプローブ先端との間に有効に電位差を生じさせた状態で試料の形状と電気的特性を同時に測定可能とする。【構成】 カンチレバー2の自由端部にはプローブ1が設けられる。プローブ1は、先端が尖鋭なベースプローブ21の表面に形成されたW薄膜22と、W薄膜22を覆って形成されたポリイミドLB膜23とで構成される。プローブ1を試料(不図示)の表面に接触させると、両者間には原子間力が働き、カンチレバー2がたわむ。このたわみから、原子間力顕微鏡の原理を利用して試料の表面形状のを測定する。一方、プローブ1のW薄膜22と試料との間に電圧を印加し、両者間に流れる電流を測定することにより、試料の表面の電気的情報を測定する。W薄膜22と試料との間にはポリイミドLB23膜が存在しているので、プローブ1と試料とを接触させても、両者間に電位差が集中した状態で試料の表面の電気的情報が得られる。
Claim (excerpt)：
弾性体に支持され少なくとも先端部が導電性材料で構成されたプローブを試料の表面に近接配置し、前記プローブと前記試料とを相対的に走査しながら前記プローブと前記試料との間に電圧を印加することにより、前記試料の表面と前記プローブの先端との間に生じる物理的現象を利用して前記試料の表面を観察する、試料表面観察方法において、前記プローブとして、少なくとも先端部の前記導電性材料上に絶縁性薄膜が形成されたプローブを用い、前記絶縁性薄膜が前記試料の表面に接触するように前記プローブを前記試料の表面に接触させ、この状態で前記プローブと前記試料との間に電圧を印加し、両者間に流れる電流を測定することにより、前記試料の電気的情報を測定することを特徴とする試料表面の観察方法。
IPC (7)：
H01J 37/04 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/30 ,  H01L 21/66
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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