ワイヤーソーの製造方法並びにワイヤーソー

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：青木秀實 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998038172
Publication number (International publication number)：1999216658
Application date： Feb. 03, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】シリコンウエハーのスライシング加工などのできるワイヤーソーの製造方法並びにワイヤーソーを提供する。【解決手段】高強度の芯線1を、樹脂溶液中に砥粒3とフィラー11を混入した混合塗料5中を通過させた後、芯線1に付着した該塗料5を内周面に凹部Bのあるダイス2を回転させながら絞って、砥粒3を該芯線1の外周面上に螺旋状に位置せしめて焼付け炉7に導き、該塗料5を該芯線1外周面上に焼付け、固着することを特徴とする。製造されたワイヤーソーにおける固着砥粒は、芯線上に螺旋状に突出形成されて切れ味がよい。

Claim (excerpt)：

高強度の芯線を砥粒又は砥粒とフィラーの混入した樹脂溶液中を通過せしめる工程と、上記通過した芯線をダイスを通して乾燥部に導く工程と、乾燥部において樹脂を加熱固化し、芯線外周面上に砥粒を固着せしめる工程とを具備する方法において、上記ダイスは芯線の通過する内周面軸方向に設けた凹部によって非円形に形成され、かつ該ダイスが通過する芯線の軸に対して垂直方向に回転し、通過する芯線に付着した液中の砥粒は、ダイス内周面に設けた凹部により、芯線外周面の螺旋状の位置に樹脂被膜により配列固着されることを特徴とするワイヤーソーの製造方法。

IPC (5)：

B24B 27/06 , B24D 3/00 340 , B24D 3/28 , B24D 11/00 , B28D 5/04

FI (5)：

B24B 27/06 H , B24D 3/00 340 , B24D 3/28 , B24D 11/00 G , B28D 5/04 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

ワイヤソー及びワイヤの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-289005 Applicant：信越半導体株式会社
ワイヤソー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-217994 Applicant：エース精工株式会社
レジンボンド砥石およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-210231 Applicant：三菱マテリアル株式会社

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