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J-GLOBAL ID：200903009468813702

半導体加速度センサ及びその製造方法

Inventor：
広瀬 茂

About 広瀬 茂

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安藤 正人

About 安藤 正人

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澤井 努

About 澤井 努

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中溝 佳幸

About 中溝 佳幸


Applicant, Patent owner：
北陸電気工業株式会社

About 北陸電気工業株式会社


Agent (1)： 西浦 ▲嗣▼晴
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002365863
Publication number (International publication number)：2004198207
Application date： Dec. 17, 2002
Publication date： Jul. 15, 2004
Summary：
【課題】部品点数を少なくして厚み寸法を小さくできる半導体加速度センサを提供する。【解決手段】重錘固定部7に固定される本体部30と、本体部30から支持部9の内周面13と台座3の露出面25との間の間隙内に突出して、重錘5が可撓部11側に所定量変位したときに内周面13と当接する第1の当接部41と台座3側に所定量変位したときに露出面25と当接する第2の当接部45とを有する突出部31とから重錘5を構成する。内周面13と第1の当接部41とにより重錘5が可撓部11側及び中心線Cを中心とする放射方向に変位する変位量の範囲を規制する第1のストッパ構造を構成し、露出面25と第2の当接部45とにより重錘5が台座3側に変位する変位量の範囲を規制する第2のストッパ構造を構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
中心部に重錘固定部が位置し、前記中心部の外側に筒状の支持部が位置し、前記重錘固定部と前記支持部との間に加速度センサ素子が形成された可撓性を有する可撓部を備えた加速度センサ本体と、 前記重錘固定部に接合され前記筒状の支持部によって一部が囲まれる重錘と、 前記筒状の支持部に接合された筒状の台座とを具備する半導体加速度センサにおいて、 前記重錘は、前記重錘固定部の中心を通り前記可撓部が延びる方向と直交する方向に延びる中心線上に中心が位置するように前記重錘固定部に固定された本体部と、前記本体部から前記支持部の内周面に向かって突出する1以上の突出部とを具備し、 前記支持部の内周面の形状及び寸法、前記複数の突出部の形状及び寸法並びに前記台座の形状及び寸法は、前記重錘が前記中心線に沿って前記可撓部から離れる方向に所定量変位したときには前記複数の突出部と前記台座の一部とが当接し、前記重錘が前記中心線に沿って前記可撓部側に所定量変位したときには前記複数の突出部が前記内周面に当接し、前記重錘が前記中心線と直交する方向に所定量変位したときには前記複数の突出部の一部が前記内周面に当接するように定められていることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (4)：
G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84
FI (4)：
G01P15/08 P ,  G01P15/12 D ,  H01L29/84 A ,  G01P15/00 K
F-Term (11)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112DA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA07 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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