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J-GLOBAL ID：200903009598428525

金属内包カーボンナノチューブの製造方法

Inventor： 林 靖彦 ,  徳永 智春 ,  藤 昇一 ,  金子 賢治 ,  曽我 哲夫 ,  神保 孝志
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003344405
Publication number (International publication number)：2005104814
Application date： Oct. 02, 2003
Publication date： Apr. 21, 2005
Summary：

【目的】 金属が内包されたカーボンナノチューブを簡単に効率よく製造する。【構成】 シリコン基板(1)の表面にSiO2、SiNx、Mo又はWのいずれか一種の第1の薄膜(2)を形成させ、第1の薄膜の表面にカーボンナノチューブに内包させる金属による第2の薄膜(3)を形成させた後、第2の薄膜をナノパーティクル状にし、金属ナノパーティクルを起点としてカーボンナノチューブ(4)を成長させることにより、カーボンナノチューブの先端に存在する金属ナノパーティクルの一部から金属が、第1の薄膜表面上の金属ナノパーティクルに向かって延び、金属がカーボンナノチューブに内包される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

金属が内包されたカーボンナノチューブの製造方法であり、シリコン基板の表面にSiO2、SiNx、Mo又はWのいずれか一種の第1の薄膜を形成させ、第1の薄膜の表面にカーボンナノチューブに内包させる金属による第2の薄膜を形成させた後、第2の薄膜をナノパーティクル状にし、金属ナノパーティクルを起点としてカーボンナノチューブを成長させることにより、カーボンナノチューブの先端に存在する金属ナノパーティクルの一部から金属が、第1の薄膜表面上の金属ナノパーティクルに向かって延び、金属がカーボンナノチューブに内包されることを特徴とする金属内包カーボンナノチューブの製造方法。

IPC (1)：

C01B31/02

FI (1)：

C01B31/02 101F

F-Term (12)：

4G146AA11 ,  4G146AA13 ,  4G146AA16 ,  4G146AD28 ,  4G146BA12 ,  4G146BB23 ,  4G146BC15 ,  4G146BC18 ,  4G146BC25 ,  4G146BC33B ,  4G146BC43 ,  4G146BC44

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 異物質内包カーボンナノチューブとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-341747   Applicant：日本電気株式会社

Cited by examiner (1)

• 製品の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-045300   Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド