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J-GLOBAL ID：200903009604377253

硫酸リサイクル型洗浄システム

Inventor：
山川 晴義

About 山川 晴義

, 
永井 達夫

About 永井 達夫

, 
池宮 範人

About 池宮 範人


Applicant, Patent owner：
栗田工業株式会社

About 栗田工業株式会社


Agent (1)： 横井 幸喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005098724
Publication number (International publication number)：2006278915
Application date： Mar. 30, 2005
Publication date： Oct. 12, 2006
Summary：
【課題】 硫酸使用量を大幅に低減して良好な洗浄作用を継続的に得るとともに、洗浄中の過硫酸濃度を適切に管理して良好かつ効率のよい洗浄処理を行う。【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置1と、電解反応により、過硫酸溶液を再生する電解反応装置10a、10b、14、15と、前記洗浄装置と電解反応装置との間で、前記過硫酸溶液を循環させる循環ライン4、6と、溶液の過硫酸濃度を測定する過硫酸濃度測定手段16、電解用電源14を制御する電源制御部17を備える。溶液の過硫酸濃度の管理によって高い洗浄効果を維持するとともに、電解用の電力を効率的に使用することを可能にする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置と、洗浄に用いられた溶液を電解して、前記溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応装置と、前記洗浄装置と電解反応装置との間で、前記過硫酸溶液を循環させる循環ラインと、前記溶液の過硫酸濃度を測定する過硫酸濃度測定手段とを備えることを特徴とする硫酸リサイクル型洗浄システム。
IPC (4)：
H01L 21/304 ,  B08B 3/08 ,  C25B 1/30 ,  C25B 15/02
FI (4)：
H01L21/304 647Z ,  B08B3/08 Z ,  C25B1/30 ,  C25B15/02 302
F-Term (20)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201BB02 ,  3B201BB62 ,  3B201BB82 ,  3B201BB96 ,  3B201CD01 ,  3B201CD22 ,  3B201CD41 ,  4K021AB15 ,  4K021BA04 ,  4K021BC01 ,  4K021BC03 ,  4K021BC05 ,  4K021CA06 ,  4K021CA09 ,  4K021DA09 ,  4K021DA11 ,  4K021DA13 ,  4K021DC15
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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