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J-GLOBAL ID:200903009656437955
表面プラズモンセンサー
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997264087
Publication number (International publication number):1999051857
Application date: Sep. 29, 1997
Publication date: Feb. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 表面プラズモンセンサーにおいて、簡単な構成で広範囲にわたる二次元走査を可能とする。【解決手段】 表面プラズモンセンサーにおいて、カップラー手段10に、X方向に延びるセンサアタッチメント15を設け、該センサアタッチメント15によってセンサユニット1を該センサユニット1とカップラー手段10との間隔が常に一定となるように支持し、該センサユニット1とカップラー手段10との間には屈折率マッチングオイル9を充填する。センサユニット1をセンサアタッチメント15に沿ってX方向に可動とし、センサユニット1に固設された搬送シャフト6により該センサユニット1をX方向に移動せしめ、光源光学手段20にテレセントリックスキャナ23を備えて光ビームLのカップラー手段10への入射位置をセンサユニット1の移動方向と垂直な方向に平行移動せしめることにより二次元走査を行う。
Claim (excerpt):
所定の屈折率を有する透明基板、および、この透明基板の一表面側に配された金属膜を備えてなるセンサユニットと、前記透明基板の前記一表面とは反対側の他表面側に、前記所定の屈折率と略同じ屈折率を有する屈折率マッチング液を挟んで配置されたカップラー手段であって、一部に形成されている入力部から入射された光ビームを透過して前記透明基板と前記金属膜との界面に入射せしめ、該界面で全反射した光ビームを透過して他の一部に形成されている出力部から出射する、該光ビームが透過する部分が前記所定の屈折率と略同じ屈折率を有するカップラー手段とを備え、前記光ビームを前記入力部から入射せしめ、前記界面で全反射されて前記出力部から出射された光ビームの強度を検出する表面プラズモンセンサーにおいて、前記センサユニットを、前記透明基板と前記カップラー手段との間隔が常に一定となるように支持するセンサ支持手段を備え、前記間隔に前記屈折率マッチング液が充填されており、光ビームが前記界面の所定の方向の相異なる箇所に同じ入射状態で順次入射するように該光ビームの入力部における入射位置を移動させる入射位置移動手段、若しくは、前記間隔が一定の状態で前記センサユニットを所定の方向に、前記カップラー手段に対して相対的に移動せしめるセンサユニット相対移動手段のうち少なくとも一方をさらに備えたことを特徴とする表面プラズモンセンサー。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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特開平2-017431
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表面プラズモン共鳴を利用した測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-286189
Applicant:オリンパス光学工業株式会社, 理化学研究所
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表面状態検査装置、該表面状態検査装置を備える露光装置及び該露光装置を用いてデバイスを製造する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-005298
Applicant:キヤノン株式会社
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被センシング物質の差動検出方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-084091
Applicant:日本レーザ電子株式会社
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ガス検出装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-161950
Applicant:三菱電機株式会社
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特表平5-504626
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特開平2-044230
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