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J-GLOBAL ID：200903009751903823

走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法

Inventor： 藤田 大介 ,  石毛 桂子
Applicant, Patent owner： 独立行政法人物質・材料研究機構
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000361807
Publication number (International publication number)：2002168757
Application date： Nov. 28, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 高導電性および高光透過性を有するとともに、高いプラズモン発光効率を得ることのできる、新しい走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法を提供する。【解決手段】 光ファイバー探針にITO薄膜および金属薄膜が積層被膜されてなる。

Claim (excerpt)：

光ファイバー探針にITO薄膜および金属薄膜が積層被膜されてなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用探針。

IPC (3)：

G01N 13/12 ,  G01B 7/34 ,  G12B 21/04

FI (4)：

G01N 13/12 D ,  G01N 13/12 B ,  G01B 7/34 Z ,  G12B 1/00 601 B

F-Term (5)：

2F063AA43 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063FA18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 発光走査型トンネル顕微鏡および顕微測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107864   Applicant：日本電信電話株式会社
• 試料表面の測定方法と装置及び試料表面の微細加工方法と装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-230871   Applicant：松下電器産業株式会社
• 光ファイバプローブ、その製造方法及び薄膜形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-262923   Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー