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J-GLOBAL ID：200903009993185054

放電プラズマ形成用電極

Inventor：
小田川 健二

About 小田川 健二

, 
貞本 満

About 貞本 満


Applicant, Patent owner：
三井化学株式会社

About 三井化学株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005047580
Publication number (International publication number)：2006236697
Application date： Feb. 23, 2005
Publication date： Sep. 07, 2006
Summary：
【課題】放電プラズマの均一性が高い放電プラズマ形成用電極、およびそれを用いたプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】1ターン以上の螺旋溝を形成した棒またはパイプを巻芯として、電極となる金属チューブを前記螺旋溝に巻きつけて作製することで形状精度を高めた螺旋状電極を作製し、得られた螺旋状電極を二本用いて一組の二重螺旋状に嵌合した、二重螺旋状のプラズマ形成用電極を用いる。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
放電プラズマ発生装置に用いる、一対の金属チューブを用いた二重螺旋状の電極であって、螺旋のピッチが螺旋の内径よりも長くかつ螺旋のピッチのばらつきが3%以下である、均一なプラズマを発生させることができる二重螺旋状電極。
IPC (2)：
H05H 1/24 ,  C08J 7/00
FI (3)：
H05H1/24 ,  C08J7/00 306 ,  C08J7/00
F-Term (11)：
4F073AA01 ,  4F073BA07 ,  4F073BA08 ,  4F073BA13 ,  4F073BA16 ,  4F073BA19 ,  4F073BA20 ,  4F073BA24 ,  4F073BA28 ,  4F073BA33 ,  4F073CA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (6)
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