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J-GLOBAL ID：200903010206408058

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 後藤 幸平 ,  松原 稔 ,  井上 靖健 ,  秋池 利之
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 岩見谷 周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996184047
Publication number (International publication number)：1998010734
Application date： Jun. 25, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 低誘電率で、平坦度などの物性に優れた硬化膜が得られる新規な感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】 (A) (a-1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と、(a-2)前記以外のラジカル重合性化合物をモノマー単位として含む共重合体、(B) 一般式(1) :-CH2OR1 (1)〔式中、R1は水素原子またはアルキル基である〕で示される一価有機基を分子内に有する架橋剤、および(C) 感放射線性酸発生剤を含有する組成物であって、得られる硬化膜の比誘電率が3.0以下であることを特徴とする、感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A) (a-1) 不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と、(a-2)前記以外のラジカル重合性化合物をモノマー単位として含む共重合体、(B) 一般式(1) :-CH2OR1 (1)〔式中、R1は水素原子またはアルキル基である〕で示される一価有機基を分子内に有する架橋剤、および(C) 感放射線性酸発生剤を含有する組成物であって、該組成物を硬化して得られる硬化膜の比誘電率が3以下であることを特徴とする、感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768 ,  H05K 3/46

FI (7)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/312 D ,  H05K 3/46 T ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/90 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-295183   Applicant：サンノプコ株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-201057   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-121845   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感光性着色樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-197844   Applicant：ナガセ電子化学株式会社
• レジストパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-353713   Applicant：三菱電機株式会社