位相差測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997168937
Publication number (International publication number)：1999014500
Application date： Jun. 25, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】十分な光量によりマッハツエンダ干渉計内での光軸合わせを容易にし、かつ長期的使用を可能にする。【解決手段】測定に用いる紫外光と照明用の可視光線とが同一の光軸でマッハツエンダ干渉計7に入射する。石英板8により2つに分岐され、一方(試料光路)は位相シフトマスク13に入射され、他方(参照用光路)は直角プリズム12により光路長補正が施される。石英板9にて両光束が重ね合わされて干渉する。重ね合わされた光はミラー16aで反射されCCDカメラ19にて撮像される。また、ミラー16aのピンホールを透過した光は光電子増倍管18にて光強度が求められる。

Claim (excerpt)：

紫外光を発する第1の光源と、前記第1の光源からの光を、被測定部材が配設される試料光路を通過する第1光束と、参照用光路を通過する第2光束とに分岐する光分岐手段と、前記参照用光路に配設され、前記試料光路と前記参照用光路の光路長差を調整する光路長調整手段と、前記試料通路を通過した前記第1の光束と前記参照用通路を通過した前記第2の光束とを再度重ね合わせる重ね合わせ手段と、前記重ね合わせ手段により重ね合わせられた光束に生じる干渉縞の間隔と光強度に基づいて、前記被測定部材による前記両光束の位相差を算出する測定手段とを有する位相差測定装置において、照明用の可視光を照射する第2の光源を有し、該可視光が、重ね合わせられた前記紫外光と光軸が一致した状態で前記測定手段に入射されることを特徴とする位相差測定装置。

IPC (4)：

G01M 11/00 , G01J 9/00 , G01N 21/45 , G01N 21/88

FI (4)：

G01M 11/00 T , G01J 9/00 , G01N 21/45 A , G01N 21/88 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

位相差測定方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-244204 Applicant：日本電気株式会社
特開昭62-106306
特開昭57-048708

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