力覚センサー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996066468
Publication number (International publication number)：1997257612
Application date： Mar. 22, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】マイクロマニピュレータに適用可能な高感度で微小な力覚センサーガ提供できないこと。【解決手段】把持部(5) と、該把持部(5) に加えられる応力を検出するセンシング領域(3) と、前記把持部(5) 及びセンシング領域(3) を支持する基部(1) と、前記センシング領域(3) に接続され、前記基部(1) まで延在して設けられた配線(9〜15) とを具備した力覚センサーにおいて、前記把持部(5) 、センシング領域(3) 、基部(1) 及び配線(9〜15) を薄板状の半導体基板に一体的に形成したことを特徴とする力覚センサー。

Claim (excerpt)：

把持部と、該把持部に加えられる応力を検出する検出部と、前記把持部及び検出部を支持する基部と、前記検出部に接続され、前記基部まで延在して設けられた配線部とを具備した力覚センサーにおいて、前記把持部、検出部、基部及び配線部を薄板状の半導体基板に一体的に形成したことを特徴とする力覚センサー。

IPC (4)：

G01L 5/16 , B25J 15/08 , B25J 19/02 , G01L 1/00

FI (4)：

G01L 5/16 , B25J 15/08 W , B25J 19/02 , G01L 1/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

力検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-259522 Applicant：株式会社リコー
マイクロマニピュレータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-291503 Applicant：株式会社東海理化電機製作所

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