金属酸化物膜の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：山下昭彦 , 岸本達人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007095153
Publication number (International publication number)：2007290958
Application date： Mar. 30, 2007
Publication date： Nov. 08, 2007
Summary：

【課題】本発明は、金属酸化物膜の結晶性や結晶構造等の膜質を調整可能な金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】本発明は、同一の金属元素および異なる非金属部を有する2種類以上の金属源を含有し、かつ、上記2種類以上の金属源の少なくとも一つが単独で金属酸化物膜を形成可能な単独膜形成可能金属源である金属酸化物膜形成用溶液を用い、上記金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材とを接触させることにより上記基材上に金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

同一の金属元素および異なる非金属部を有する2種類以上の金属源を含有し、かつ、前記2種類以上の金属源の少なくとも一つが単独で金属酸化物膜を形成可能な単独膜形成可能金属源である金属酸化物膜形成用溶液を用い、前記金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材とを接触させることにより前記基材上に金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。

IPC (1)：

C01B 13/18

FI (1)：

C01B13/18

F-Term (25)：

4G002AA02 , 4G002AB02 , 4G042DA01 , 4G042DA02 , 4G042DB10 , 4G042DD02 , 4G042DE04 , 4G042DE07 , 4G042DE14 , 4G047AA02 , 4G047AB02 , 4G047AD02 , 4G047CA02 , 4G047CB05 , 4G047CD02 , 4G048AA02 , 4G048AA03 , 4G048AB02 , 4G048AD02 , 4G048AE06 , 4G048AE08 , 4G076AA02 , 4G076AB04 , 4G076AB11 , 4G076CA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

TiO2薄膜及び色素増感太陽電池用作用電極の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-339951 Applicant：科学技術振興事業団
TiO2薄膜及び色素増感太陽電池用電極の作製方法並びに色素増感太陽電池用電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-233224 Applicant：金子正治

Cited by examiner (11)

特開昭62-228484
多機能光触媒膜被覆ガラスの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-241005 Applicant：セントラル硝子株式会社
特開昭62-050474

Show all

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

(アセチルアセトナト)トリクロロチタン(IV)

Return to Previous Page