赤外線検出素子及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：東野博文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997324075
Publication number (International publication number)：1999160146
Application date： Nov. 26, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】制作が容易で、赤外波長領域での波長依存性の少ない赤外線検出素子を実現する。【解決手段】赤外光を赤外線吸収体で熱にしてその温度変化を測温抵抗体により検出する赤外線検出素子において、凹曲面である窪みが形成されその窪み部分に反射膜が形成された第1の基板と、絶縁膜が形成されこの絶縁膜の上に測温抵抗体が形成されると共に絶縁膜上であって測温抵抗体の両端に電極が形成され、絶縁膜が形成された側と反対の側に窪みが形成されその窪みの底部分に反射防止膜が形成された第2の基板とを備え、反射膜で構成される凹面鏡の焦点が測温抵抗体に一致するように第1及び第2の基板を接合する。

Claim (excerpt)：

赤外光を赤外線吸収体で熱にしてその温度変化を測温抵抗体により検出する赤外線検出素子において、凹曲面である窪みが形成されその窪み部分に反射膜が形成された第1の基板と、絶縁膜が形成されこの絶縁膜の上に測温抵抗体が形成されると共に前記絶縁膜上であって前記測温抵抗体の両端に電極が形成され、前記絶縁膜が形成された側と反対の側に窪みが形成されその窪みの底部分に反射防止膜が形成された第2の基板とを備え、前記反射膜で構成される凹面鏡の焦点が前記測温抵抗体に一致するように前記第1及び第2の基板を接合したことを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2)：

G01J 1/02 , G01J 5/02

FI (2)：

G01J 1/02 R , G01J 5/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

赤外線センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-034906 Applicant：日産自動車株式会社
特開昭63-108762
赤外線センサおよびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-110763 Applicant：株式会社村田製作所

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