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J-GLOBAL ID：200903010466287700

グラスライニング製品の製造方法

Inventor：
前背戸 智晴

About 前背戸 智晴


Applicant, Patent owner：
神鋼パンテツク株式会社

About 神鋼パンテツク株式会社


Agent (1)： 藤本 昇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999316919
Publication number (International publication number)：2001131777
Application date： Nov. 08, 1999
Publication date： May. 15, 2001
Summary：
【要約】【課題】 半導体向けの薬品、医薬品等の金属イオンのコンタミを嫌う製造プロセスで使用されるグラスライニング製品、特に樹脂の重合反応器のように付着性が問題となるグラスライニング製品の製造方法に関し、ライニングガラス層からの金属イオンの溶出を防止することを課題とする。【解決手段】 ライニングガラス層2が母材1の表面に形成されたグラスライニング被覆製品を製造する方法において、前記ライニングガラス層2の表面に、ゾルゲル法によりSiO2をコーティングすることにより、シリカコーティング層3を形成して製造することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ライニングガラス層(2) が母材(1) の表面に形成されたグラスライニング被覆製品を製造する方法において、前記ライニングガラス層(2) の表面に、ゾルゲル法によりSiO2をコーティングすることにより、シリカコーティング層(3) を形成して製造することを特徴とするグラスライニング製品の製造方法。
IPC (2)：
C23F 11/00 ,  C01B 33/12
FI (2)：
C23F 11/00 F ,  C01B 33/12 C
F-Term (33)：
4G072AA28 ,  4G072BB09 ,  4G072CC13 ,  4G072EE07 ,  4G072FF01 ,  4G072GG03 ,  4G072HH30 ,  4G072JJ11 ,  4G072JJ42 ,  4G072JJ47 ,  4G072LL06 ,  4G072LL14 ,  4G072LL15 ,  4G072MM01 ,  4G072MM32 ,  4G072MM36 ,  4G072NN21 ,  4G072PP17 ,  4G072QQ09 ,  4G072RR05 ,  4G072RR12 ,  4G072UU30 ,  4K062AA01 ,  4K062AA05 ,  4K062BA14 ,  4K062BA17 ,  4K062BB03 ,  4K062BB04 ,  4K062BB14 ,  4K062EA02 ,  4K062FA02 ,  4K062FA16 ,  4K062GA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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