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J-GLOBAL ID：200903010470712180

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 猪俣 克巳 ,  秋山 将宏 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社 ,  荒川化学工業株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994241144
Publication number (International publication number)：1996106159
Application date： Oct. 05, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂および、例えば下記式【化1】で表わされる化合物の1,2-キノンジアジドスルホン酸エステルを含有する感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、現像性に優れているとともに、高解像度で、特に、フォーカス許容性が著しく改善される。そのため本組成物は高集積度の集積回路作製用レジストとして好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂および下記式(1)【化1】[式(1)中、X1〜X20およびY1〜Y4は、それぞれ相互に同一または異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシル基または-ODで示される基(ここで、Dは水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である)である。但し、X1〜X5の少なくとも1つ、X6〜X10の少なくとも1つ、X11〜X15の少なくとも1つ、X16〜X20の少なくとも1つおよびY1〜Y4の少なくとも1つは-ODで示される基であり、これら-ODで示される基の複数個のDの少なくとも1つは1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である]で表わされる1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• アルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-119571   Applicant：東京応化工業株式会社
• ポジ型フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-203737   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 特開平4-301851