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J-GLOBAL ID:200903010491879239

原子間力顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998235613
Publication number (International publication number):2000065714
Application date: Aug. 21, 1998
Publication date: Mar. 03, 2000
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、原子間力顕微鏡に関し、特に被測定物の表面の特定材料部分に凹凸を形成する試薬ならびに凹凸の形状変化をさらに強調するために、膨潤、エッチングまたは相互作用の付与のための処理を施して、高精度で表面材料を計測する原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】 被測定物の表面物質を測定するために、探針先端を被測定物に近接させて走査することにより前記測定物の表面凹凸を測定する原子間力顕微鏡であって、被測定物表面を平滑化する工程と、前記被測定物表面の特定材料と化学反応を起こすことにより前記特定材料部分に凹凸が形成される試薬を前記被測定物表面に配する工程によって処理された被測定物表面を前記探針により計測すること、および特定材料が官能基の分布状態での親水部であり他の被測定物表面は疎水部であり、試薬により該親水部を膨潤させることを特徴とする。
Claim (excerpt):
被測定物の表面物質を測定するために、探針先端を被測定物に近接させて走査することにより該測定物の表面凹凸を測定する原子間力顕微鏡であって、被測定物表面を平滑化する工程と、該被測定物表面の特定材料と化学反応を起こすことにより該特定材料部分に凹凸が形成される試薬を前記被測定物表面に配する工程によって処理された被測定物表面を前記探針により計測することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (5):
G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/36 ,  G01N 1/32
FI (5):
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 1/32 B ,  G01N 1/28 Z
F-Term (17):
2F069AA60 ,  2F069CC06 ,  2F069DD19 ,  2F069DD25 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069PP04 ,  2F069QQ05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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