素子間配線形成法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：和泉良彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002019742
Publication number (International publication number)：2003158093
Application date： Jan. 29, 2002
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】極微細素子の集積回路の配線形成法において、カーボンナノチューブにより微細構造を自己組織化的に接続する新規な配線形成法を提供する。【解決手段】基板上に形成された2個以上複数の微細素子の間を電気的に結合する素子間配線形成法であって、微細素子(1)上に、カーボンナノチューブ(3)を選択的に成長させる触媒微粒子(2)を堆積し、炭化水素ガスの触媒分解による化学気相成長法によって、触媒微粒子(2)間にカーボンナノチューブ(3)を自己組織化的に成長させることにより微細素子(1)間に配線を形成する方法とする。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された2個以上の凸型の形状を有する微細素子の間を電気的に結合する素子間配線形成法であって、上記微細素子上に、カーボンナノチューブを選択的に成長させる触媒微粒子を堆積し、炭化水素ガスの触媒分解による化学気相成長法によって、上記触媒微粒子間にカーボンナノチューブを自己組織化的に成長させることにより、上記微細素子間に配線を形成することを特徴とする素子間配線形成法。

IPC (7)：

H01L 21/285 , B01J 23/745 , B01J 37/16 , C01B 31/02 101 , C23C 16/26 , H01L 21/205 , H01L 21/3205

FI (7)：

H01L 21/285 C , B01J 37/16 , C01B 31/02 101 F , C23C 16/26 , H01L 21/205 , H01L 21/88 B , B01J 23/74 301 M

F-Term (61)：

4G046CA02 , 4G046CB03 , 4G046CB09 , 4G046CC06 , 4G046CC08 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BB02B , 4G069BC29A , 4G069BC66A , 4G069BC66B , 4G069BC67A , 4G069BC67B , 4G069BC68A , 4G069CB35 , 4G069CD10 , 4G069DA06 , 4G069EA08 , 4G069FA01 , 4G069FA04 , 4G069FB02 , 4G069FB15 , 4G069FB29 , 4G069FB43 , 4K030AA09 , 4K030BA27 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA17 , 4K030JA14 , 4K030JA15 , 4K030LA15 , 4M104AA01 , 4M104AA04 , 4M104AA05 , 4M104BB04 , 4M104BB36 , 4M104DD21 , 4M104DD24 , 4M104DD43 , 4M104DD45 , 4M104DD46 , 4M104DD78 , 4M104DD79 , 4M104FF40 , 5F033GG01 , 5F033GG02 , 5F033HH00 , 5F033HH03 , 5F033HH15 , 5F033HH36 , 5F033PP02 , 5F033PP06 , 5F033PP08 , 5F033QQ73 , 5F033RR30 , 5F045AA03 , 5F045AB07 , 5F045AC01 , 5F045AC07 , 5F045CB10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

炭素質ファイバーの作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-028087 Applicant：科学技術振興事業団, 松下電器産業株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-247135 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド
ナノスケール導体アセンブリとその製造方法、電界放出装置、マイクロ波真空管増幅器、及びディスプレイ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-216032 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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