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J-GLOBAL ID：200903010568819471

感光性樹脂組成物、およびこれを使用したパターン形成方法

Inventor：
山舗 有香

About 山舗 有香

, 
浅野 昌也

About 浅野 昌也


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997050431
Publication number (International publication number)：1998246960
Application date： Mar. 05, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：
【要約】【課題】製造方法が簡便であり、塗布性および保存安定性に優れ、プロセスラティチュードが広く、パターン形成が容易な感光性樹脂組成物を得る。【解決手段】シリコンに直結したメチル基およびシラノール基を有し、かつ、シラノール含有率が0.1〜2.0であるアルカリ可溶性シロキサンポリマー(但し、シラノール含有率は、赤外分光分析による900cm-1のシラノール基と1271cm-1のシリコン-メチル基による吸収ピークの吸光度比、Abs(900cm-1)/Abs(1271cm-1)をさす。)、放射線の作用によって反応促進剤を発生する化合物、および溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
(1)シリコンに直結したメチル基、およびシラノール基を有し、かつシラノール含有率が0.1〜2.0であるアルカリ可溶性シロキサンポリマー(但し、シラノール含有率は、赤外分光分析による900cm-1のシラノール基と1271cm-1のシリコン-メチル基による吸収ピークの吸光度比すなわちAbs(900cm-1)/Abs(1271cm-1)をさす。)(2)放射線の作用によって反応促進剤を発生する化合物(3)溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/075 511 ,  G03F 7/004 503 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/28
FI (5)：
G03F 7/075 511 ,  G03F 7/004 503 Z ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D ,  H05K 3/28 C
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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