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J-GLOBAL ID:200903010571313929

X線撮像装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999335695
Publication number (International publication number):2001153819
Application date: Nov. 26, 1999
Publication date: Jun. 08, 2001
Summary:
【要約】【課題】 X線断層像の観察と、任意な角度からのX線透視像とを一台の検査装置でできるようにする。【解決手段】 透過形X線源の下方で被測定物を回転させる中空回転軸と、この回転軸上で被測定物を水平方向にXY位置決めするXYステージと、中空回転軸を鉛直方向に移動させるZステージと、X線源の斜下に水平に配設されたX線検出面を有し、検出したX線像を被測定物と同期して回転させて断層像を得るラミノグラフ撮像部と、X線源のX線出射点からの鉛直線を対称軸としてX線ラミノグラフ撮像部と対称な方向にX線透視撮像部を設け、このX線透視撮像部を水平方向に移動可能にすると同時に、この水平移動に合わせて透視撮像用X線検出部が常にX線源の方を向くようにし、さらに、透視撮像用X線検出部とX線出射点を結ぶX線光軸上に被測定点が移動させるようにした。
Claim (excerpt):
被測定物に対しX線を放射する透過形X線源と、該X線源によって前記被測定物のX線断層像を得る為の第1のX線撮像手段と、前記X線源によって前記被測定物の可変斜視角透視像を得る第2のX線撮像手段とを有することを特徴とするX線撮像装置。
IPC (2):
G01N 23/04 ,  H05K 3/00
FI (2):
G01N 23/04 ,  H05K 3/00 V
F-Term (19):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001HA20 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • X線透過検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-057303   Applicant:株式会社ユニハイト
  • X線断層撮影方法及びその装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-158121   Applicant:株式会社日立製作所
  • ラミノグラフ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-299197   Applicant:株式会社東芝

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